High rate magnetron sputter deposition of thin Al oxide and Mo oxide films

Forskningsoutput: AvhandlingLicentiatavhandling

Abstract

Abstract to be added

Detaljer

Författare
  • Maryam Olsson
Externa organisationer
  • Uppsala universitet
Forskningsområden

Ämnesklassifikation (UKÄ) – OBLIGATORISK

  • Övrig annan teknik
  • Tvärvetenskapliga studier
Originalspråkengelska
KvalifikationLicentiat
Handledare/Biträdande handledare
  • Granqvist, Claes Göran, handledare, Extern person
Förlag
  • Uppsala universitet
StatusPublished - 1997
PublikationskategoriForskning
Externt publiceradJa