Nanoimprint in PDMS on glass with two-level hybrid stamp

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikel i vetenskaplig tidskrift

Detaljer

Författare
Enheter & grupper
Forskningsområden

Ämnesklassifikation (UKÄ) – OBLIGATORISK

  • Den kondenserade materiens fysik
Originalspråkengelska
Sidor (från-till)210-213
TidskriftMicroelectronic Engineering
Volym85
Utgåva nummer1
StatusPublished - 2008
PublikationskategoriForskning
Peer review utfördJa