Hertz laboratory

Infrastruktur

    Information

    Beskrivning

    Small clean room for silicon, glass and polymer microfabrication.

    Utrustning och resurser

    Thermco Oxidation furnace, Heidelberg DWL66+ mask writer, Karl Süss MA4 mask aligner, Brewer 100CB spinner, Edwards auto306 metal evaporator, wet etching equipment, Micro Automation 602M dicing saw, Ambios XP-1 profilometer, microscopy.

    Ämnesklassifikation (UKÄ)

    • Teknik och teknologier

    Typ av infrastruktur

    • Utrustning