Hertz laboratory

Institutionen för biomedicinsk teknik

Infrastruktur

    Information

    Beskrivning

    Small clean room for silicon, glass and polymer microfabrication.

    Utrustning och resurser

    Thermco Oxidation furnace, Heidelberg DWL66+ mask writer, Karl Süss MA4 mask aligner, Brewer 100CB spinner, Edwards auto306 metal evaporator, wet etching equipment, Micro Automation 602M dicing saw, Ambios XP-1 profilometer, microscopy.

    Ämnesklassifikation (UKÄ)

    • Teknik

    Typ av infrastruktur

    • Utrustning

    Kontaktinformation

    NamnMartin Bengtsson
    Telefon+46462229372
    E-post[email protected]
    WebbadresserBokning/hantering
    • 1 Arrangerat workshop/ seminarium/ kurs