Ultra-snabb termisk processning för nästa generations ferroelektrisk hafniumoxid

Projekt: Övrigt

Projektinformation

Beskrivning

The main goal of this project is to explore the effects of millisecond thermal
processing on the ferroelectric properties of hafnia-based thin films.
StatusSlutfört
Gällande start-/slutdatum2019/01/012023/12/31

Finansiering

  • Swedish Research Council