Bimolecular Reaction Mechanism in the Amido Complex-Based Atomic Layer Deposition of HfO2

Giulio D'acunto, Roman Tsyshevsky, Payam Shayesteh, Jean Jacques Gallet, Fabrice Bournel, François Rochet, Indiana Pinsard, Rainer Timm, Ashley R. Head, Maija Kuklja, Joachim Schnadt

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikel i vetenskaplig tidskriftPeer review

Fingeravtryck

Fördjupa i forskningsämnen för ”Bimolecular Reaction Mechanism in the Amido Complex-Based Atomic Layer Deposition of HfO2”. Tillsammans bildar de ett unikt fingeravtryck.

Material Science

Physics

Engineering

Chemical Engineering