Comparison of aluminum nitride thin films prepared by magnetron sputter epitaxy in nitrogen and ammonia atmosphere

Balasubramanian Sundarapandian, Dat Q. Tran, Lutz Kirste, Patrik Straňák, Andreas Graff, Mario Prescher, Akash Nair, Mohit Raghuwanshi, Vanya Darakchieva, Plamen P. Paskov, Oliver Ambacher

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikel i vetenskaplig tidskriftPeer review

Fingeravtryck

Fördjupa i forskningsämnen för ”Comparison of aluminum nitride thin films prepared by magnetron sputter epitaxy in nitrogen and ammonia atmosphere”. Tillsammans bildar de ett unikt fingeravtryck.

Material Science