Effects of TiN Top Electrode Texturing on Ferroelectricity in Hf1-xZrxO2

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikel i vetenskaplig tidskriftPeer review

3 Citeringar (SciVal)

Fingeravtryck

Fördjupa i forskningsämnen för ”Effects of TiN Top Electrode Texturing on Ferroelectricity in Hf1-xZrxO2”. Tillsammans bildar de ett unikt fingeravtryck.

Ingenjörs- och materialvetenskap

Kemiska föreningar