Feature size control using surface reconstruction temperature in block copolymer lithography for InAs nanowire growth

Anette Löfstrand, Johannes Svensson, Lars Erik Wernersson, Ivan Maximov

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel i vetenskaplig tidskrift › Peer review

Fingeravtryck

Fördjupa i forskningsämnen för ”Feature size control using surface reconstruction temperature in block copolymer lithography for InAs nanowire growth”. Tillsammans bildar de ett unikt fingeravtryck.

Material Science

Engineering