Feature size control using surface reconstruction temperature in block copolymer lithography for InAs nanowire growth

Anette Löfstrand, Johannes Svensson, Lars Erik Wernersson, Ivan Maximov

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel i vetenskaplig tidskrift › Peer review

1 Doktorsavhandling (sammanläggning)

1 resultat

Filter

2021
Block Copolymer Nanolithography for Sub-50 nm Structure Applications
Bidragets översatta titel : Sampolymernanolitografi för applikationer med strukturer under 50 nmLöfstrand, A., 2021 nov. 2, Lund: Department of Physics, Lund University. 93 s.
Forskningsoutput: Avhandling › Doktorsavhandling (sammanläggning)

Öppen tillgång
Fil
193 Nedladdningar (Pure)