Formation of polyhedral voids at surface cusps during growth of epitaxial TiN/NbN superlattice and alloy films

L. Hultman, LR Wallenberg, M. Shinn, S.A. Barnett

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikel i vetenskaplig tidskriftPeer review

Fingeravtryck

Fördjupa i forskningsämnen för ”Formation of polyhedral voids at surface cusps during growth of epitaxial TiN/NbN superlattice and alloy films”. Tillsammans bildar de ett unikt fingeravtryck.

Engineering

Material Science