Poly(styrene)- block-Maltoheptaose Films for Sub-10 nm Pattern Transfer: Implications for Transistor Fabrication

Anette Löfstrand, Reza Jafari Jam, Karolina Mothander, Tommy Nylander, Muhammad Mumtaz, Alexei Vorobiev, Wen Chang Chen, Redouane Borsali, Ivan Maximov

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel i vetenskaplig tidskrift › Peer review

1 Doktorsavhandling (sammanläggning)

1 resultat

2021
Block Copolymer Nanolithography for Sub-50 nm Structure Applications
Bidragets översatta titel : Sampolymernanolitografi för applikationer med strukturer under 50 nmLöfstrand, A., 2021 nov. 2, Lund: Department of Physics, Lund University. 93 s.
Forskningsoutput: Avhandling › Doktorsavhandling (sammanläggning)

Öppen tillgång
Fil
217 Nedladdningar (Pure)